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日本CANON ANELVA真空計(jì)M-342DG-11/M-342DG-12/M-342DG-13
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南京易鳴銷售日本CANON真空計(jì)、離子規(guī) 原裝正品 品質(zhì)保證!
產(chǎn)品品牌：日本CANON
產(chǎn)品名稱：真空計(jì)、離子規(guī)
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具體規(guī)格型號(hào)如下所示：
M-342DG-1D
M-342DG-1N
M-342DG-11
M-342DG-12
M-342DG-13
特點(diǎn)：
真空中の圧力の高精度179179長(zhǎng)期間安定測(cè)定に幅広く対応
半導(dǎo)體、ディスプレイ、太陽(yáng)電池など各種真空裝置
179179スパッタリング、PECVDなどの真空成膜プロセス圧力の制御、モニタリング
179179ロードロック室、ウエハ冷卻などのガス導(dǎo)入プロセス、システムの圧力管理
醫(yī)療、バイオ、食品他各種産業(yè)、並びに各種研究開発用途
各種コーティング、プラズマ処理、真空封止、真空爐、分析裝置、滅菌、真空ポンプ評(píng)価、分子蒸留 など
規(guī)格尺寸：
型名 M-342DG
-1D -1N -11 -12 -13
フルスケール圧力（Pa） 13.33 133.3 1.333k 13.33k 133.3k
測(cè)定制度（％ of reading） 0.20(at 23℃)
ゼロ點(diǎn)溫度係數(shù)（％ of F.S./℃） 0.01 0.005 0.002
スパン溫度係數(shù)（％ of reading/℃） 0.01 0.005
分解能（％ of Full-scale） 0.01 0.005
測(cè)定下限圧力（％ of Full-scale） 0.01
実用測(cè)定下限圧力（％ of Full-scale） 0.05
実用制御下限圧力（％ of Full-scale） 0.5
応答速度（ms） 100 30
加圧上限 200kPa(但しNW16、NW25のものは內(nèi)部が陽(yáng)圧にならないこと)
*13.33Pa仕様は130kPa
電源電圧（VDC） +13.5～26.4
消費(fèi)電力（W） 0.5
アナログ出力（VDC） 0～10
使用溫度/保管溫度（℃） 0～50/-20～70(非動(dòng)作時(shí))
最大ケーブル長(zhǎng)（m） 100(専用ケーブル)
ゼロ點(diǎn)調(diào)整方法 プッシュスイッチ、リモート入力
入出力コネクタ D-sub9ピン(オス)
接ガス部材質(zhì) SUS304、SUS316、Si、ガラス、フッ素ゴム
フランジ18形狀と質(zhì)量 NW16(200ｇ)、NW25(210ｇ)、8-VCR メス(250ｇ)、φ70ICF(460ｇ)
適用規(guī)格等 CE、RoHS、IP40
安全保障貿(mào)易管理規(guī)制 非該當(dāng)
対応表示器 M-601GC(1ch接続タイプ)、M-603GC(3ch接続タイプ)
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