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日本CANON ANELVA真空計M-833HG
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南京易鳴銷售日本CANON真空計、離子規(guī) 原裝正品 品質(zhì)保證!
產(chǎn)品品牌：日本CANON
產(chǎn)品名稱：真空計、離子規(guī)
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具體規(guī)格型號如下所示：
特長:
ワイドな圧力測定範(fàn)囲
10-7Pa～10Paまで、超高真空側(cè)の特性を犠牲にすることになく、スパッタプロセスを超える低真空領(lǐng)域まで測定可能
高応答アナログ出力
圧力値のアナログ信號出力は、100msec以內(nèi)と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能
4つのエミッション電流設(shè)定モード
高圧力領(lǐng)域側(cè)での使用時のフィラメント壽命改善など、用途に合わせ選択が可能
特長:
豊富な外部制御機能により完全な遠(yuǎn)隔操作が可能
セットポイントを2點標(biāo)準(zhǔn)裝備
最大4ヶのオプションボード取付け可能で機能拡張性が充実
（注記：GP-IBオプションには未対応）
RoHS、CEマーキングに対応
用途:
自動化真空裝置の圧力計測
スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
マルチチャンバシステムでの圧力測定
一般真空裝置の圧力測定
規(guī)格尺寸：
型 名 M-833HG
測定球 ミニチュアゲージMG-2シリーズ
圧力表示範(fàn)囲 0.1×10-7～9.9×100Pa
圧力表示 測定レンジ自動切換
セットポイント 2點標(biāo)準(zhǔn)裝備（オープンコレクタ）
D/A出力 0～10V：仮數(shù)部出力、指數(shù)部出力
0～11V：複合出力又はLOG出力
アナログ出力 APCモード設(shè)定時（0.1～2.5V）
（エレクトロメータ出力） ノーマルモード設(shè)定時（0.1～1.6V）
INPUT フィラメントON/OFF
外部制御機能 デガスON/OFF
（リモート操作） 等6種類の外部制御機能
OUTPUT 6種類のステータス信號出力
特殊機能 APC対応：レンジホールド機能
エレクトロメータ出力機能
寸法/質(zhì)量 H99×W209×D330、1.9kg
所要電力 100～240VAC
100VA以下、50／60Hz
エミッション電流 10μA、100μA、1mA自動切換設(shè)定又は固定設(shè)定
ガス出し グリッド通電加熱方式
フィラメント切換 キー及び、リモートI/O操作
フィラメント保護 オーバーレンジ設(shè)定値又はエミッション電流±50%の変動
標(biāo)準(zhǔn)構(gòu)成 真空計本體（測定球及びケーブルは構(gòu)成品に含まれません）
RoHS，CEマーキング 対応
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